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  • ZDM系列真空鍍膜機(jī)
    ZDM系列真空鍍膜機(jī)

    ZDM系列真空鍍膜機(jī)化學(xué)名叫六甲基二硅胺烷(別名六甲基二硅氮烷),真空鍍膜機(jī)又稱HMDS基片預(yù)處理系統(tǒng),喆圖真空鍍膜機(jī)對(duì)箱體內(nèi)預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、工作壓力、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制,可以在硅片、襯底表面完成 HMDS成底膜的工藝。降低了光刻膠的用量,所有工藝都在密閉的環(huán)境中進(jìn)行,沒(méi)有HMDS揮發(fā),提高了安全性。主要適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料

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